单晶硅棒

单晶硅棒

产品信息

新美光超大尺寸单晶硅棒的自主生长技术的突破,解决了我国在半导体材料领域被国外“卡脖子”的现状,实现了原材料自主可控。 目前新美光自主生长的单晶硅棒已经远销海外,并且已经成为国外存储晶圆厂等终端客户认证通过的刻蚀用硅部件的原材料。

技术优势

采用MCZ超导磁场直拉法

最大直径可达485mm

杂质含量极低

无晶格位错缺陷

电阻率均匀性好

生长良率高

产品用途

晶圆刻蚀用初级原材料

集成电路刻蚀用关键材料