硅片

硅片

产品信息

新美光的硅片业务,涵盖了全尺寸的定制化加工工艺,主要包含硅片研磨、抛光、减薄,倒角、laser marking等工艺,公司内部可以定制生产从100um到800um不等厚度,从2寸到12寸不等直径,以及各种高中低电阻硅片,其TTV,粗糙度等指标可达到SEMI标准要求。

技术优势

采用MCZ超导磁场直拉法

最大直径可达485mm

杂质含量极低

无晶格位错缺陷

电阻率均匀性好

生长良率高

产品用途

晶圆刻蚀用初级原材料

集成电路刻蚀用关键材料