제품 정보

집적회로 플라즈마 식각용 단결정 실리콘 부품은 SICREAT의 큰 장점이며 독자 연구개발로 생산한 단결정 부품으로는 황광, 식각, 박막, 증착 등 공정중 사용되는 Focus Ring, Silicon Cathode, Si소재 Tray, Silicon Plate 등 부품으로 국내외 많은 반도체 제조업체의 생산공정에 사용되고 있습니다. SICREAT는 고품질 단결정 실리콘의 자체 성장부터 마이크로 나노가공까지 오토프로세스 제어가 가능한 공정으로 단결정 부품을 구현한 제조기업입니다.