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先进制成集成电路等离子刻蚀用单晶硅部件是新美光的一大优势，我们自主研发生产的单晶硅部件包含黄光、蚀刻、薄膜、沉积等工艺中所使用的聚焦环、硅电极、硅材料托盘、硅板等在内的部件，已经应用于国内诸多半导体厂商的生产工艺中。 新美光是实现了从高品质单晶硅棒自主生长到微纳加工全流程自主可控的单晶硅部件的制造企业。